МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Издатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609

77-48211/446750 Анализ методов измерения шероховатости поверхности и экспериментальное исследование диффузного рассеяния на базе рефлектометрического метода

Молодежный научно-технический вестник # 06, июнь 2012

Файл статьи:

01.pdf (1093.67Кб)

авторы: Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В., Каплин А. Ю.

Проведенный обзор наиболее перспективных методов измерения шероховатости нанометрового уровня показал, что наиболее перспективным методом для измерения среднеквадратического отклонения шероховатости оптической поверхности является метод динамической интерферометрии. Проведено экспериментальное исследование влияния диффузного рассеяния на интенсивность излучения, отраженного в зеркальном направлении, для поверхностей с параметром Rq, равным 5 нм, 10 нм и 50 нм. Установлено, что диффузное рассеяние приводит к флуктуациям интенсивности и вклад этого рассеяния в зеркально отраженное излучение составляет 0.25% для Rq = 10нм.

Публикации с ключевыми словами: интерферометр, интегральное рассеивание
Публикации со словами: интерферометр, интегральное рассеивание
Смотри также:

Тематические рубрики: