Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
77-48211/447609 Система активной виброизоляции на основе магнитореологических эластомерных демпферов для нанотехнологического оборудования
Молодежный научно-технический вестник # 07, июль 2012
Файл статьи:
01.pdf
(712.73Кб)
В настоящей работе рассматривается возможность использования системы активной виброизоляции на основе магнитореологических эластомерных демпферов для нанотехнологического оборудования. Колебания высокой частоты, при изготовлении микроэлектронных компонентов, частоты успешно изолируются при помощи систем пассивной виброзащиты. Гораздо более опасными являются колебания с низкими частотами, для устранения которых и используются системы активной виброизоляции на основе МР-эластомеровТематические рубрики: Поделиться:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|