Другие журналы
электронный журнал
МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК
Издатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Модели и методы синтеза мембранных датчиков давления на основе НиМЭМС
Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2012
УДК: 004
Файл статьи:
Андреев К.А..pdf
(439.32Кб)
Андреев К.А..pdf
(439.32Кб)
1. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи // В.И. Ваганов. - М.: Энергоатомиздат, 1983. – 136 с.
2. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие // В.Я. Распопов. – М.: Машиностроение, 2007. – 400с
3. Ушков, А.В. Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам: дис. канд. техн. наук: 05.27.06 // Ушков Александр Викторович; Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана. – Москва, 2008. – 161 с.
Публикации с ключевыми словами: датчик давления, МЭМС, элемент мембранного типа
Публикации со словами: датчик давления, МЭМС, элемент мембранного типа
Смотри также:
- Моделирование и синтез интеллектуальных мембранных датчиков давления на основе МЭМС
- Термокомпенсация измерительного канала датчика давления на основе полупроводниковых интегральных преобразователей
- 77-48211/368573 Методы цифровой обработки сигналов тактильных чувствительных элементов мембранного типа
Тематические рубрики:
Поделиться:
| Авторы |
| Пресс-релизы |
| Библиотека |
| Конференции |
| Выставки |
| О проекте |
| Телефон: +7 (499) 263-61-98 |
|
 |
|||
| © 2003-2024 «Молодежный научно-технический вестник» Тел.: +7 (499) 263-61-98 | |||||
