Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Установка создания инжекционных режимов в МДП-приборах с наноразмерными диэлектрическими плёнками
Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2012 УДК: 621.382
Файл статьи:
Дмитриев В.Г..pdf
(241.28Кб)
1. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. – М.: Высшая школа, 1987. – С.239. 2. Fischetti M. Generation of positive charge in silicon dioxide during avalanch and tunnel electron injection // J. Appl. Phys. – 1985. – Vol. 57. – No 8. – P. 2863-2879. 3. Андреев В.В., Барышев В.Г., Столяров А.А. Метод постоянного тока в контроле МДП-структур // Петербургский журнал электроники. – 1997. – №3. – С.69-72. 4. Столяров А.А. Расширение возможностей операционного контроля инжекционностойкого подзатворного диэлектрика в производстве МДП-БИС. // Перспективные материалы. – 1999 – №1. –С.84-88. 5. Барышев В.Г., Столяров А.А. Метод постоянного тока при исследовании тонкопленочных диэлектриков в сильных полях // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. – 1986. – Вып. 10. – С.79-80. 6. Андреев В.В., Барышев В.Г., Вихров С.П., Столяров А.А. Высокополевой инжекционный метод постоянного тока для исследования зарядовой деградации МДП-систем // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология): Материалы докл. науч.-техн. семинара. – Москва, МЭИ, 1997. – С.376-381. 7. Барышев В.Г., Парфенов О.Д., Сидоров Ю.А., Столяров А.А. Моделирование выхода годных микросхем по дефектности подзатворного диэлектрика // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 1992. – Вып. 2. – С. 57-58. 8. Андреев В.В., Барышев В.Г., Парфенов О.Д., Сидоров Ю.А., Столяров А.А. Коррекция режимов термического отжига систем диэлектрик-полупроводник на базе информативных показателей качества диэлектрических слоев // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. – 1992. – Вып. 2. – С.66-68. Публикации с ключевыми словами: наноразмерные диэлектрические пленки, инжекционный режим, МДП-приборы Публикации со словами: наноразмерные диэлектрические пленки, инжекционный режим, МДП-приборы Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|