МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Файл статьи: Благова С.В..pdf (236.17Кб)

1.          Конструкторско-технологическое проектирование электронных средств / под общ. редакцией В.А.Шахнова. – М.: Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2002. – 500 с.

2.          Романова М.П. Бригаднов И.Ю. Учебное пособие. Фотошаблоны. – 2006.

3.          Kamberian Henry. Technology review. Pellicles. – 2004.

4.          Суровой Э.П. Еремеева Г.О. Теромпревращения наноразмерных слоев хрома – 2011.

5.          Chris Mack. Fundamental principles of optical lithography. – Wiley, 2007. – 515 c.

6.          Михальцов Е.П. Методика выполнения измерений линейных размеров элементов топологии на поверхности кремниевой пластины. – 19 с.