Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609![]()
Исследование распределения толщины покрытия и углового распределения испаренного материала вакуумно-дугового испарителя с алюминиевым катодом
Молодежный научно-технический вестник # 06, июнь 2014 УДК: 67.05
Файл статьи:
![]() 1. Андреев А.А., Саблев Л.П., Шулаев В.М., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 236 с. 2. Месяц Г.А., Баренгольц С.А. Механизм генерации аномальных ионов вакуумной дуги // УФН. 2002. Т. 172, № 10. С. 1113-1130. 3. Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Щуренкова С.А. Динамика движения катодных пятен по поверхности катода в поперечном магнитном поле // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. № 01. Режим доступа: http://technomag.edu.ru/doc/256359.html (дата обращения 20.05.2014). 4. Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А. Исследование профиля выработки катода дугового испарителя с арочным магнитным полем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012 № 11. Режим доступа:http://technomag.edu.ru/doc/482485.html (дата обращения 20.05.2014). 5. Духопельников Д.В., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Марахтанов М.К. Структура и особенности движения катодного пятна вакуумной дуги на протяженном титановом катоде // Измерительная техника. 2005. № 10. С. 42-44. 6. Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г. Исследование и оптимизация ионного источника ИИ-200 // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2011. № 10. Режим доступа:http://www.technomag.edu.ru/doc/230165.html (дата обращения 20.05.2014). 7. Технология тонких пленок: справочник. Т. 1. Изготовление тонких пленок : пер. с англ. / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; пер. с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. М.: Советское радио, 1977. 664 с. 8. Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Мелик-Парсаданян А.К., Пархоменко Ю.Н. Вакуумная дуга с монокристаллическим кремниевым катодом для получения наноструктурированных материалов // Справочник. Инженерный журнал. 2008. № 9. С. 22-27. 9. Костржицкий A.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1991. 176 с. Публикации с ключевыми словами: вакуумно-дуговой испаритель, угловое распределение, распределение толщины покрытия, закон Ламберта-Кнудсена Публикации со словами: вакуумно-дуговой испаритель, угловое распределение, распределение толщины покрытия, закон Ламберта-Кнудсена Смотри также: Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|