МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Файл статьи: Зимин Д.Д..pdf (556.95Кб)

1.   Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008.  244 с.

2.   Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкоплёночной технологии. М.: Техносфера, 2010. 528с.

3.   Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы: учеб. пособие в 2 ч. М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 53 с.

4.   Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г. Исследование и оптимизация ионного источника ИИ-200 // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2011. № 10. Режим доступа:  http://www.technomag.edu.ru/doc/230165.html  (дата обращения 18.10.2011). 

5.   Shiller S., Beister G. and Sieber W., Deposition of hard wear-reisistant coatings by reactive D.C. plasmatron sputtering // Thin Solid Films. 1984. № 111. P. 259-268.

6.   Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.