Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Анализ влияния технологических параметров процесса импульсного лазерного осаждения на физико-морфологические свойства тонких пленок
Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2015 УДК: 539.234
Файл статьи:
Ремез Л...И.В..pdf
(2259.27Кб)
1. Григорьянц А.Г., Мисюров А.И., Шупенев А.Е. Анализ поверхности тонких пленок Bi2Te3 осажденных методом импульсной лазерной абляции // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2011. № 10. DOI: 77-30569/239713 2. НаноФаб 100. Модуль PLD: руководство пользователя. М.: НТ-МДТ, 2009. 214 с. 3. Малов, И.Е., Шиганов И.Н. Лазеры в микроэлектронике. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. 76 с. 4. Дубровский В.Г. Теория формирования эпитаксиальных наноструктур. М.: Физматлит, 2009. 352 с. Публикации с ключевыми словами: тонкие пленки, нанотехнологии, импульсное лазерное осаждение Публикации со словами: тонкие пленки, нанотехнологии, импульсное лазерное осаждение Смотри также: Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|