Другие журналы
электронный журнал
МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК
Издатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Сегментация подвижного электрода ёмкостного микродатчика давления с целью повышения его чувствительности
Молодежный научно-технический вестник # 11, ноябрь 2015
УДК: 53.087
Файл статьи:
Рожков Н.В..pdf
(284.17Кб)
Рожков Н.В..pdf
(284.17Кб)
1. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. Сер. Мир электроники: пер. с англ. М.: Техносфера, 2004. 528 с.
2. Willem Frederik Adrianus Besling. MEMS Capacitive Pressure Sensor, Operating Method And Manufacturing Method. US Patent US 2013/0118265 A1, 16.05.2013.
3. Eswaran P. and Malarvizhi S. Design Analysis of MEMS Capacitive Differential Pressure Sensor for Aircraft Altimeter // International Journal of Applied Physics and Mathematics. 2012. Vol. 2, No. 1. P. 14-20.
Публикации с ключевыми словами: Микроэлектромеханические системы, микродатчики давления, емкостные датчики давления
Публикации со словами: Микроэлектромеханические системы, микродатчики давления, емкостные датчики давления
Смотри также:
- Качественный анализ воздействия вибраций на микромеханические инерциальные датчики
- Термически изолированные ячейки в конструкциях преобразователей физических величин изготовленные электростатической анодной посадкой полупроводниковых и диэлектрических элементов
- Влияние вибраций на выходные характеристики БИНС на микромеханических датчиках
Тематические рубрики:
Поделиться:
| Авторы |
| Пресс-релизы |
| Библиотека |
| Конференции |
| Выставки |
| О проекте |
| Телефон: +7 (499) 263-61-98 |
|
 |
|||
| © 2003-2024 «Молодежный научно-технический вестник» Тел.: +7 (499) 263-61-98 | |||||
