Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Сравнение распределений магнитного поля в магнетронных распылительных системах, полученных различными методами расчета
Молодежный научно-технический вестник # 11, ноябрь 2015 УДК: 621.793.72
Файл статьи:
Клюева В.А..pdf
(329.56Кб)
1. Кузмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. В 2 ч. Ч.1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с. 2. Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия. 2014. № 9 (39). С. 30-32. 3. Духопельников Д. В. Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. В 2 ч. Ч.1. устройство, принципы работы, применение. М.: Изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 53 с. 4. Сливинская А. Г. Электромагниты и постоянные магниты. М.: Энергия, 1972. 248 с. 5. Тозони О.В. Метод вторичных источников в электротехнике. М.: Энергия, 1975. 296 с. 6. Никитенко А.Г., Гринчеков В. П., Иванченко А.Н. Программирование и применение ЭВМ в расчетах электрических аппаратов. М.: Высшая школа, 1990. 232 с. 7. Галлагер Р. Метод конечных элементов. Основы. Пер. с англ. М.: Мир, 1984. 428 с., ил. [Richard H. Gallagher. Finite elements analysis. Fundamentals. New Jersy: Prentice-Hall, 1975. ]. 8. Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электромагнитами: дис. ... канд. техн. наук. М., 2007. 202 с. Публикации с ключевыми словами: метод конечных элементов, магнетронные распылительные системы, распределение магнитного поля Публикации со словами: метод конечных элементов, магнетронные распылительные системы, распределение магнитного поля Смотри также: Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|