МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Файл статьи: Грешилов В.В..pdf (1110.46Кб)

[1].  Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Введение в физику и технику магнетронного распыления. М.: Авекс, 2008. 244 с.

[2].  Зимин Д.Д. Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом // Молодежный научно-технический вестник.  2014.  № 7. Режим доступа: http://sntbul.bmstu.ru/doc/725522.html (дата обращения 13.11.2015).

[3].  Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия. 2014. № 9. С. 30-32.

[4].  Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Мелик-Парсаданян А.К., Пархоменко Ю.Н. Вакуумная дуга с монокристаллическим кремниевым катодом для получения наноструктурированных материалов // Справочник. Инженерный журнал. 2008. № 9. С. 22-27.

[5].  Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г. Влияние выработки катода дугового испарителя на равномерность толщины покрытия и угловое распределение продуктов эрозии // Наука и образование: электронное научно-техническое издание. 2014. № 4. С. 1-9. DOI: 10.7463/0414.0707391

[6].  Каштанов П.В., Смирнов П.В., Хиплер Р., Магнетронная плазма и нанотехнология // Успехи физических наук. 2007. № 5. С. 473–510;

[7].  Oliver J. B., Talbot D., Optimization of Deposition Uniformity for Large-Aperture NIF Substrates in a Planetary Rotation System // LLE Review. 2003. Vol. 94. P.67–75.