Синев Леонид Станиславович

С. 951 - 965

Эта статья — обзор технологического процесса электростатического соединения (анодной посадки) и особенностей его применения в разработках микроэлектромеханических систем. Представленнный обзор показывает, что технологический процесс электростатического соединения хорошо зарекомендовал себя. Для соединения полированных поверхностей без топологии он является простым в реализации. В то же время, для сложных конструкций микроэлектромеханических систем, где применяются гибкие подвижные элементы, где требуется обеспечивать соединение вблизи КМОП элементов или использовать герметичные электрические вводы, процесс разработки должен включать оптимизацию конструкции и режимов проведения процесса соединения экспериментальными методами и методами математического моделирования с целью получения наиболее эффективных результатов.