Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609![]()
Исследование разряда геликонного типа для применения в машиностроении, медицине и материаловедении
Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2015 УДК: 533.9, 621.039
Файл статьи:
![]() 1. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. М.: Наука, 1980. 416 с. 2. Сысун В.И. Источники плазмы высокой плотности на основе индукционно-связанного разряда // ЖЭТФ. 2003. Т. 62, № 6. С. 31. 3. Гинзбург В.Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. М.: Наука, 1967. 684 с. 4. Gao Z., Yu-Qing X., Chao M. et al. Characterization of plasma in a short-tube helicon source // Acta Physica Sinica. 2014. V. 63. Issue 23. P. 235202. 5. Сазонтов В.А., Семенов В.Е., Смирнов А.И. Одномерная модель геликонного разряда // Физика плазмы. 2007. Т.33, N 11. С.1048-1056. 6. Князев Б.А. Низкотемпературная плазма и газовый разряд: учебное пособие. Новосибирск: Новосиб. гос. ун-т., 2003. 290 с. 7. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К. В. и др. Самосогласованная модель ВЧ индуктивного источника плазмы, помещенного во внешнее магнитное поле // Физика плазмы. 2004. Т. 30, № 5. С. 434-449. 8. Chabert P., Braithwaite N. Physics of radio-frequency plasmas. Cambridge University Press, New York, 2011. 375 p. 9. Chen F.F. Helicon discharges and sources: a review // Plasma Sources Science and Technology. 2015. V. 24. P. 014001. 10. Chen F.F., Evans J.D., Tynan G.R. Design and performance of distributed helicon sources // Plasma Sources Sci. Technol. 2001. V. 10. P. 236-249. 11. Алексенко О.В., Мирошниченко В.И., Мордик С.Н. Пространственное распределение потерь ВЧ электромагнитного поля в плазменном источнике геликонного типа // Физика плазмы. 2014. Т. 40, № 8. С. 764-770. 12. Брагинский О.В., Васильева А.Н., Ковалев А.С. Геликонная плазма в неоднородном магнитном поле // Физика плазмы.2001. Т. 27, № 8. С. 741-749. 13. Арсенин А.В. Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники: автореф. дис. ... канд.техн.наук. Долгопрудный, 2005. 122 с. 14. Chen F.F. Helicon plasma sources / University of California. Los Angeles. 1994. 69 p. 15. Burdakov A., Arzhannikov A., Astrelin V. Plasma Heating and Confinement in GOL-3 Multi Mirror Trap // Fusion Science and Technology. 2007. Vol. 51. № 2T. P. 106–111. 16. Goulding R., Caughman J., Peng Y-K M., Rapp J., Biewer T., Canik J., Fadnek A., Hillis D., Chen G. The ORNL high-flux helicon source and PhIX // VLT Conference Call. 2012. Available at: http://web.ornl.gov/sci/vlt/research/20120418_goulding.pdf, accessed 10.04.15. 17. Goulding R., Canik J., Caughman J., Cole M., Chen G., Diem S., Meitner S., Owen L., Peng M., Rusmussen D. Reseach at ORNL on an RF-based Intense Plasma Source // Intl. Workshop on Next Generation PMI Test Stands. 2010. Available at: http://web.ornl.gov/sci/fed/PMTS10/PMTS10_15.pdf, accessed 10.04.15. 18. Shinohara S., Hada T., Motomura T., Tanaka K., Tanikawa T., Toki K., Tanaka Y., and Shamrai K.P. Development of high-density helicon plasma sources and their applications // Physics of Plasmas. 2009. V. 16. P. 057104. 19. Takahashi K., Motomura T., Ando A., Kasashima Y., Kikunaga K., Uesugi F., Hara S. Transport of a helicon plasma by a convergent magnetic field for high speed and compact plasma etching // Journal of Physics D: Applied Physics . 2014. V. 47. Issue 42. P. 425201. 20. Фареник В.И. Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур // Физическая инженерия поверхности. 2004. Т. 2, № 1. С. 117–145. 21. Дудин С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур // ФIП ФИП PSE. 2009. Т. 7, № 3. С. 171-194. 22. Кузенов В.В. Разработка оценочной физико-математической модели ВЧ-разряда геликонного типа // Физико-химическая кинетика в газовой динамике. 2014. Т. 15, вып. 6. Available at : http://chemphys.edu.ru/media/files/11-30-002-.pdf, accessed 20.03.15. 23. Kuzenov V.V., Ryzhkov S.V. Numerical modeling of magnetized plasma compressed by the laser beams and plasma jets // Problems of Atomic Science and Technology. 2013. № 1 (83). P. 12-14. 24. Рыжков С.В. Современное состояние, проблемы и перспективы термоядерных установок на основе магнитно-инерционного удержания горячей плазмы // Известия РАН. Серия Физическая. 2014. Т. 78, № 5. C. 647-653. 25. Ryzhkov S.V., Chirkov A.Yu., Ivanov A.A. Analysis of the compression and heating of magnetized plasma targets for magneto-inertial fusion // Fusion Science and Technology. 2013. V. 63. № 1T. P. 135-138. 26. Кузенов В.В., Лебо И.Г., Лебо А.И., Рыжков С.В. Физико-математические модели и методы расчета воздействия мощных лазерных и плазменных импульсов на конденсированные и газовые среды. – М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2015. 27. Вирко В.Ф., Шамрай К.П., Кириченко Г.С., Вирко Ю.В. Повышение эффективности геликонного разряда в сходящемся магнитном поле //Problems of Atomic Science and Technology. 2003. № 4. P. 241-246. 28. Абдулин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р., Шаехов М.Ф. Модификация нанослоев в высоко-частотной плазме пониженного давления. Казань: Казан. гос. технол. ун-т. 2007. 370 с. 29. Вавилин К.В., Рухадзе А.А., Ри М.Х., Плаксин В.Ю. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. Геликонные источники плазмы // ЖТФ. 2004. Т. 74, № 6. С.29-34. 30. Родионов И.В., Серянов Ю.В. Применение технологии анодного оксидирования при создании биосовместимых покрытий на дентальных имплантантах // Вестник Саратовского государственного технического университета. 2006. Т. 2, № 1. С. 77–87. 31. Верещагин В.И., Хабас Т.А., Старосветский С.И., Звигинцев М.А., Решетова А.А. Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине. Томск: Томский политехнический университет, 2013. 219 с. 32. Ботаева Л.Б. Разработка технологии изготовления металлокерамических изделий для медицины на основе титана с оксидными и кальций-фосфатными покрытиями: автореф. дис. ... канд.техн.наук. Томск. 2005. 20 с. 33. Абдулин И.Ш., Желтухин В.С., Бородаев И.А., Шемахин А.Ю. Модель взаимодействия плазмы индукционного высокочастотного разряда пониженного давления с наночастицами серебра // Успехи прикладной физики. 2013. Т. 1, № 3. С. 291-295. 34. Тимошина Ю.А. Разработка трикотажных и нетканых волокнистых материалов с антибактериальными свойствами: автореф. дис. … канд.техн.наук. Казань. 2014. 179 с. 35. Петров А.К. Характеристики модели высокочастотного ионного двигателя с ускорением ионов скачком потенциала двойного слоя // Электронный журнал «Труды МАИ». 2014. № 74. Available at: http://www.mai.ru/upload/iblock/12f/12f6f6b359a00847f5c7ed6607514bed.pdf, accessed дата обращения 09.04.15. 36. Цаглов А.И., Лоян А.В., Кошелев Н.Н., Рыбалов О.П. 37. Кузенов В.В., Рыжков С.В.Отдельные элементы физико-математической модели геликонного разряда // Прикладная физика. 2015. № 2. С. 37-44 . 38. Chen F.F. Ion ejection from a permanent-magnet mini-helicon thruster // Physics of Plasmas. 2014. Vol. 21. P. 093511. 39. Shabshelowitz A., Gallimore A.D., Peterson P.Y. Performance of a helicon Hall thruster operating with Xenon, Argon, and Nitrogen // Journal of Propulsion and Power. 2014. Vol. 30. P. 664-671. Публикации с ключевыми словами: Плазменное напыление, геликон, источник плазмы, высокочастотный разряд, плазменное травление Публикации со словами: Плазменное напыление, геликон, источник плазмы, высокочастотный разряд, плазменное травление Смотри также: Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|